半導體激光器俗稱(chēng)為激光二極管,因為其用半導體材料作為工作物質(zhì)的特性,所以被稱(chēng)為半導體激光器。通常采用的工作物質(zhì)有砷化鎵、硫化鎘、磷化銦等,可以作為光纖激光器和固體激光器的泵浦源,也可以直接輸出激光作為光源。隨著(zhù)半導體技術(shù)的不斷深入發(fā)展,市場(chǎng)需求不斷轉向。應用領(lǐng)域也不斷發(fā)生變化。從小功率設備,發(fā)展到目前的大功率設備,也從一些輕型加工領(lǐng)域向重型加工領(lǐng)域轉移。
半導體激光器的基本結構:
1、激光工作介質(zhì)
激光的產(chǎn)生必須選擇合適的工作介質(zhì),可以是常體、液體、固體或半導體。在這種介質(zhì)中可以實(shí)現粒子數反轉,以制造獲得激光的必要條件。顯然亞穩態(tài)能級的存在,對實(shí)現粒子數反轉世非常有利的?,F有工作介質(zhì)近千種,可產(chǎn)生的激光波長(cháng)包括從真空紫外道遠紅外,非常廣泛。
2、激勵源
為了使工作介質(zhì)中出現粒子數反轉,必須用一定的方法去激勵原子體系,使處于上能級的粒子數增加。半導體激光器一般可以用氣體放電的辦法來(lái)利用具有動(dòng)能的電子去激發(fā)介質(zhì)原子,稱(chēng)為電激勵;也可用脈沖光源來(lái)照射工作介質(zhì),稱(chēng)為光激勵;還有熱激勵、化學(xué)激勵等。
3、聚光系統
聚光腔的作用有兩個(gè),一個(gè)是將泵浦源與工作物質(zhì)有效的耦合;另一個(gè)是決定激光物質(zhì)上泵浦光密度的分布,從而影響到輸出光束的均勻性、發(fā)散度和光學(xué)畸變。工作物質(zhì)和泵浦源都安裝在聚光腔內,因此聚光腔的優(yōu)劣直接影響泵浦的效率及工作性能。
4、光學(xué)諧振腔
由全反射鏡和部分反射鏡組成,是半導體激光器的重要組成部分。光學(xué)諧振腔除了提供光學(xué)正反饋維持激光持續振蕩以形成受激發(fā)射,還對振蕩光束的方向和頻率進(jìn)行限制,以保證輸出激光的高單色性和高定向性。
5、冷卻與濾光系統
冷卻與濾光系統是激光器必不可少的輔助裝置。工作時(shí)會(huì )產(chǎn)生比較嚴重的熱效應,所以通常都要采取冷卻措施。主要是對激光工作物質(zhì)、泵浦系統和聚光腔進(jìn)行冷卻,以保證激光器的正常使用及器材的保護。冷卻方法有液體冷卻、氣體冷卻和傳導冷卻,但目前使用廣泛的是液體冷卻方法。要獲得高單色性的激光束,濾光系統起了很大的作用。濾光系統能夠將大部分的泵浦光和其他一些干擾光過(guò)濾,使得半導體激光器輸出的激光單色性非常好。
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